ТП = R 10 L,

фазированными сегментами,
содержащее зеркала с диаметром
сегмента или длиной главной оси 1
м или более


Особое примечание.
В отношении оборудования
оптического контроля, указанного в
пунктах 6.1.4.4 - 6.1.4.4.4, см.
также пункты 6.1.4.2 - 6.1.4.2.4
раздела 2

- 6.1.4.5. Асферические оптические элементы, 9001 90 000 0;
- имеющие все следующие 9002 90 000 0
характеристики:
а) наибольший размер оптической
- апертуры более 400 мм;
- б) шероховатость поверхности менее
1 нм (среднеквадратичную) на
выборочном участке длиной, равной
или превышающей 1 мм; и
в) абсолютную величину
коэффициента линейного теплового
-6
расширения менее 3 x 10 /К при
температуре 25 град. C

Технические примечания:
1. Асферический оптический элемент
- любой элемент, используемый в
оптической системе, оптическая
поверхность или поверхности
которого разработаны отличающимися
от формы идеальной сферы
2. Изготовители не нуждаются в
измерении шероховатости
поверхности, указанной в подпункте
"б" пункта 6.1.4.5, за исключением
тех случаев, когда оптический
элемент разработан или изготовлен
с целью соответствия или
превышения контрольного параметра

Примечание.
По пункту 6.1.4.5 не
контролируются асферические
оптические элементы, имеющие любые
из следующих характеристик:
а) наибольший размер оптической
апертуры менее 1 м и относительное
отверстие, равное или больше 4,5:1
(отношение диаметра к фокусному
расстоянию, равное или больше
- 4,5:1);
- б) наибольший размер оптической
апертуры, равный или больше 1 м, и
относительное отверстие, равное
или больше 7:1 (отношение
диаметра к фокусному расстоянию,
- равное или больше 7:1);
- в) разработанные в качестве
Френелевого, плавающего
видеосенсора, полосы, призмы или
дифракционных оптических
- элементов;
- г) изготовленные из
боросиликатного стекла, имеющего
коэффициент линейного теплового
-6
расширения более 2,5 x 10 /К
при температуре 25 град. C; или
д) являющиеся оптическими
элементами для рентгеновских
лучей, обладающие свойствами
внутреннего отражения (например:
зеркала трубчатого типа)

Особое примечание.
Для асферических оптических
элементов, специально
разработанных для литографического
оборудования, см. пункт 3.2.1

Лазеры

6.1.5. Лазеры, компоненты и оптическое
оборудование:

Примечания:
1. Импульсные лазеры включают
лазеры, работающие в
квазинепрерывном режиме с
перекрытием импульсов
2. Лазеры с импульсной накачкой
включают лазеры, работающие в
непрерывном режиме при
перекрывающихся импульсах накачки
3. Контрольный статус рамановских
лазеров определяется параметрами
лазерного источника накачки.
Лазерным источником накачки может
быть любой лазер, рассматриваемый
ниже

6.1.5.1. Газовые лазеры:

6.1.5.1.1. Эксимерные лазеры, имеющие любую 9013 20 000 0
из следующих характеристик:
а) выходную длину волны не более
150 нм и имеющие любую из
следующих характеристик:
выходную энергию в импульсе более
50 мДж; или
среднюю выходную мощность более 1
- Вт;
- б) выходную длину волны в
диапазоне от 150 нм до 190 нм и
имеющие любую из следующих
характеристик:
выходную энергию в импульсе более
1,5 Дж; или
среднюю выходную мощность более
- 120 Вт;
- в) выходную длину волны в
диапазоне от 190 нм до 360 нм и
имеющие любую из следующих
характеристик:
выходную энергию в импульсе более
10 Дж; или
среднюю выходную мощность более
500 Вт; или
г) выходную длину волны более 360
нм и имеющие любую из следующих
характеристик:
выходную энергию в импульсе более
1,5 Дж; или
среднюю выходную мощность более 30
Вт

Особое примечание.
Для эксимерных лазеров, специально
разработанных для литографического
- оборудования, см. пункт 3.2.1;

- 6.1.5.1.2. Лазеры на парах металла:

6.1.5.1.2.1. Медные (Cu) лазеры, имеющие 9013 20 000 0
среднюю выходную мощность более 20
- Вт;

- 6.1.5.1.2.2. Золотые (Au) лазеры, имеющие 9013 20 000 0
среднюю выходную мощность более 5
- Вт;

- 6.1.5.1.2.3. Натриевые (Na) лазеры, имеющие 9013 20 000 0
- выходную мощность более 5 Вт;

- 6.1.5.1.2.4. Бариевые (Ba) лазеры, имеющие 9013 20 000 0
среднюю выходную мощность более 2
- Вт;

- 6.1.5.1.3. Лазеры на оксиде углерода (CO), 9013 20 000 0
имеющие любую из следующих
характеристик:
а) выходную энергию в импульсе
более 2 Дж и пиковую мощность
более 5 кВт; или
б) среднюю мощность или выходную
мощность в непрерывном режиме
- более 5 кВт;

- 6.1.5.1.4. Лазеры на диоксиде углерода (СО ), 9013 20 000 0
2
имеющие любую из следующих
характеристик:
а) выходную мощность в непрерывном
- режиме более 15 кВт;
- б) длительность импульсов в
импульсном режиме более 10 мкс и
имеющие любую из следующих
характеристик:
среднюю выходную мощность более
10 кВт; или
- пиковую мощность более 100 кВт;
- или
в) длительность импульсов в
импульсном режиме, равную или
меньше 10 мкс, и имеющие любую из
следующих характеристик:
энергию в импульсе более 5 Дж; или


Страницы: 39 из 93  <-- предыдущая  cодержание   следующая -->